Growth of thin, crystalline oxide, nitride and oxynitride films on metal and metal alloy surfaces

材料科学 尼亚尔 氧化物 氮化物 合金 金属间化合物 金属 羊奶 过渡金属 薄膜 冶金 化学工程 无机化学 图层(电子) 复合材料 纳米技术 催化作用 化学 工程类 生物化学
作者
R. Franchy
出处
期刊:Surface Science Reports [Elsevier]
卷期号:38 (6-8): 195-294 被引量:270
标识
DOI:10.1016/s0167-5729(99)00013-8
摘要

This paper reviews the current knowledge of the properties of ultrathin, well-ordered oxide, nitride and oxynitride films grown on metal and metal alloy surfaces. Different modes of preparation are discussed and the vibrational and structural properties are summarized. The focus will be put onto Al-oxides grown on surfaces of the intermetallic alloys NiAl, Ni3Al and FeAl. The properties of Ga2O3 grown on surfaces of the intermetallic alloy CoGa are also described. In these cases Al- and Ga-atoms, respectively, segregate from the substrate and react with adsorbed oxygen. The grown Al- and Ga-oxide films, respectively, order at elevated temperatures. Systems are also discussed where Al-oxide is grown by oxidation of Al-atoms which are evaporated on surfaces of the transition metals Re and Ru. The growth of transition metal oxides CoO (1 1 1)/Co (0 0 0 1), CoO (1 0 0)/Co (1 1 2 0), NiO (1 0 0)/Ni (1 0 0), NiO/Ni (1 1 1) and Cr2O3/Cr (1 1 0) are also presented. Thin films of Al- and Ga-nitride, respectively, can be grown on the base of the intermetallic alloy NiAl and CoGa by low-temperature adsorption of ammonia. These nitride films order at elevated temperatures. Al- and Ga-oxynitride, respectively, can be grown on surfaces of NiAl and CoGa substrates by adsorption on nitric oxide. An ordering of these ultrathin oxynitride layers is observed at elevated temperatures.
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