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AlGaN/GaN HEMTs fabricated using AlGaN regrowth on RIE-GaN surfaces

材料科学 光电子学 高电子迁移率晶体管 氮化镓 宽禁带半导体 纳米技术 晶体管 图层(电子) 电气工程 电压 工程类
作者
Akio Yamamoto,Keito Kanatani,Masaaki Kuzuhara
出处
期刊:The Japan Society of Applied Physics
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