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Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition of In-Situ Doped Amorphous Silicon Layers for Passivating Contacts

化学气相沉积 材料科学 原位 硅 兴奋剂 非晶硅 无定形固体 大气压力 沉积（地质） 化学工程 光电子学 纳米技术 晶体硅 化学 地质学 结晶学 有机化学 古生物学 工程类 海洋学 沉积物
作者
Robby Peibst,Rolf Brendel,Barbara Terheiden,Jonathan Steffens,Byungsul Min,H. Knauss,Sven Seren,Agnes Merkle
出处
期刊：World Conference on Photovoltaic Energy Conversion 日期：2018-11-06 卷期号：: 785-791 被引量：1
链接
eupvsec-proceedings.comdoi.org
标识
DOI：10.4229/35theupvsec20182018-2dv.3.49
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