Ohmic contacts on SnO2 produced by hydrogen plasma treatment

欧姆接触 等离子体 材料科学 化学 纳米技术 物理 核物理学 有机化学 图层(电子)
作者
I. Chaplygin,Zbigniew Galazka,F. Herklotz,E. V. Lavrov
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:125 (4)
标识
DOI:10.1063/5.0205615
摘要

This study introduces a method for creating Ohmic contacts to tin oxide (SnO2) by subjecting the sample surface to hydrogen plasma treatment at moderate temperatures of about 300 °C. This process generates a surface layer of metallic tin droplets, forming suitable electrical contacts. The contacts exhibit remarkable durability and demonstrate Ohmic behavior down to liquid helium temperatures.
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