Fabrication of high-density electrical feed-throughs by deep-reactive-ion etching of Pyrex glass

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标题	Fabrication of high-density electrical feed-throughs by deep-reactive-ion etching of Pyrex glass Pyrex玻璃深反应离子刻蚀制备高密度电馈通相关领域薄脆饼材料科学蚀刻（微加工）深反应离子刻蚀反应离子刻蚀阳极连接制作晶片切割光电子学电镀抛光复合材料医学病理替代医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2002.805211
DOI	10.1109/jmems.2002.805211 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：X. Li; Takashi Abe; Y. Liu; Masayoshi Esashi 出版日期：2002-12-01
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