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Growth and crystal phase transformation of ε-Ga2O3 grown on 4H–SiC by MOCVD
MOCVD法在4H-SiC上生长ε-Ga2O3的生长及晶相转变
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:So Yoon Kim; Jungbok Lee; Hyung-Soo Ahn; Kyounghwa Kim; Min Yang 出版日期:2022-02-23 |
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