Directed self-assembly enhanced EUV multi-patterning for low variability metal pitch scaling

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标题	[高分] Directed self-assembly enhanced EUV multi-patterning for low variability metal pitch scaling 定向自组装增强的低可变性金属间距EUV多图案化相关领域极紫外光刻缩放比例多重图案材料科学光电子学纳米技术抵抗几何学数学图层（电子）
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.3010031 doi
其它	期刊：作者：G. Singh; Nityan Nair; Florian Gstrein; Richard E. Schenker 出版日期：2024-04-10
求助人	kuxingzhe1993 在 2024-04-22 13:53:02 发布自山东，悬赏 50 积分
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7个月前

凤凰 Lv12 进行了留言

@kuxingzhe1993 看来搞不定

不是搞不定，因为这个是一节一节的流媒体文件，没有直接下载地址，要用其他软件下载拼接很麻烦
7个月前，求助关闭

kuxingzhe1993 求助人 Lv5 关闭了本次求助。

说明 presentation无法下载【积分已退回】
7个月前

kuxingzhe1993 求助人 Lv5 进行了留言

@凤凰这些都是视频文件啊

看来搞不定
7个月前

凤凰 Lv12 进行了留言

这些都是视频文件啊
7个月前

kuxingzhe1993 求助人 Lv5 发起了本次求助

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