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 Modeling the precursor utilization in atomic layer deposition on nanostructured materials in fluidized bed reactors 流化床反应器中纳米结构材料原子层沉积中前驱体利用的模拟
相关领域
原子层沉积
材料科学
化学工程
沉积（地质）
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化学
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期刊：Chemical Engineering Journal 作者：Fabio Grillo; Michiel T. Kreutzer; J. Ruud van Ommen 出版日期：2015-05-01 |
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