标题 |
Experimental studies and COMSOL 1-D simulation in Ar capacitively coupled plasmas
Ar电容耦合等离子体的实验研究和COMSOL一维模拟
相关领域
容性耦合等离子体
等离子体
等离子体化学
材料科学
原子物理学
感应耦合等离子体
物理
核物理学
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DOI | |
其它 |
期刊:AIP Advances 作者:S. Datta; Jeon G. Han; Ravinder Kumar; Bibhuti B. Sahu 出版日期:2024-01-01 |
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