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 A polymer–semiconductor–ceramic cantilever for high-sensitivity fluid-compatible microelectromechanical systems 用于高灵敏度流体兼容微机电系统的聚合物-半导体-陶瓷悬臂
相关领域
悬臂梁
微电子机械系统
陶瓷
材料科学
灵敏度（控制系统）
半导体
聚合物
光电子学
复合材料
电子工程
工程类
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| 其它 |
期刊：Nature electronics 作者：Nahid Hosseini; Matthias Neuenschwander; Jonathan D. Adams; Santiago H. Andany; Oliver Peric; et al 出版日期：2024-07-15 |
| 求助人 | |
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