Incorporation of N in p-type Zn-N-doped SnO2 films by varying N2 content in sputtering gas mixture

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标题	Incorporation of N in p-type Zn-N-doped SnO2 films by varying N2 content in sputtering gas mixture 相关领域材料科学溅射兴奋剂锌化学工程纳米技术冶金薄膜光电子学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.107230
DOI	10.1016/j.mssp.2022.107230 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Ho Kim Dan; Minh Khang Pham; Huu Phuc Dang; Uy Lap Quach; Anh Tuan Dao; et al 出版日期：2023-03-01
求助人	cuijiawen 在 2023-03-02 09:23:42 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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