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5.59 W/mm at 30 GHz from E-mode AlN/GaN HEMT using selective etch of in-situ SiN passivation layer
使用选择性蚀刻原位SiN钝化层,在30 GHz下从E模式AlN/GaN HEMT获得5.59 W/mm
相关领域
高电子迁移率晶体管
钝化
材料科学
光电子学
图层(电子)
原位
宽禁带半导体
蚀刻(微加工)
氮化镓
电气工程
晶体管
电压
化学
纳米技术
工程类
有机化学
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其它 |
期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Pengfei Wang; Minhan Mi; Sirui An; Yuwei Zhou; Zhihong Chen; et al 出版日期:2024-01-01 |
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