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Unraveling Fatigue Mechanisms in Ferroelectric AlScN Films: The Role of Oxygen Infiltration
铁电AlScN薄膜疲劳机制的揭示:氧渗透的作用
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Ruiqing Wang; Jiuren Zhou; Danyang Yao; Siying Zheng; Bochang Li; et al 出版日期:2025-01-09 |
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