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标题
Recent progress in heterogeneous integration on the silicon nitride platform using micro-transfer printing
微转移印刷氮化硅平台异质集成研究进展
相关领域
转印 氮化硅 氮化物 硅 计算机科学 纳米技术 材料科学 光电子学 图层（电子） 复合材料
网址
https://doi.org/10.1117/12.2691017
DOI
10.1117/12.2691017 doi
其它 期刊：
作者：Maximlien Billet; Tom Vanackere; Tom Vandekerckhove; Margot Niels; Luis Reis; et al
出版日期：2024-03-12
求助人
ewwkadw 在 2025-01-31 08:41:50 发布自江苏，悬赏 20 积分
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