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 Design, Simulation, and Fabrication of Multilayer Al2O3 Ceramic Micro-Hotplates for High Temperature Gas Sensors 用于高温气体传感器的多层Al2O3陶瓷微热板的设计、模拟与制作
相关领域
材料科学
陶瓷
微电子机械系统
制作
电极
电阻器
光电子学
基质（水族馆）
硅
复合材料
电气工程
电压
地质学
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医学
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物理化学
化学
替代医学
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期刊：Sensors 作者：Bolun Tang; Yunbo Shi; Jianwei Li; Jie Tang; Qian Feng 出版日期：2022-09-08 |
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