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标题
Design for Variability: Counter-Doped Source/Drain Epitaxy Pockets in Gate-All-Around FET
可变设计:全栅场效应管中反掺杂源/漏外延袋
相关领域
蚀刻(微加工) 兴奋剂 符号 外延 晶体管 光电子学 材料科学 物理 数学 纳米技术 算法 量子力学 算术 图层(电子) 电压
网址
DOI
10.1109/ted.2023.3332068 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Electron Devices
作者:Jae-Hyuk Lim; Do Young Han; Sangwoo Seon; Hyoung Won Baac; Changhwan Shin
出版日期:2024-01-01
求助人
Et3rnity 在 2024-09-10 15:47:43 发布自安徽,悬赏 10 积分
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