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 Si doping of β -Ga2O3 by disilane via hybrid plasma-assisted molecular beam epitaxy 杂化等离子体辅助分子束外延二硅烷掺杂β-Ga2O3
相关领域
二硅烷
分子束外延
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Zhuoqun Wen; Kamruzzaman Khan; Xin Zhai; Elaheh Ahmadi 出版日期：2023-02-20 |
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