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标题
Thermal Atomic Layer Etching of Gold Using Sulfuryl Chloride for Chlorination and Triethylphosphine for Ligand Addition
硫酰氯氯化和三乙基膦配体加成的金热原子层刻蚀
相关领域
硫酰氯 配体（生物化学） 图层（电子） 氯化物 化学 蚀刻（微加工） 无机化学 有机化学 生物化学 受体
网址
https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.4c00485
DOI
10.1021/acs.chemmater.4c00485 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Jonathan L. Partridge; Jessica A. Murdzek; Virginia L. Johnson; Andrew S. Cavanagh; Sandeep Sharma; et al
出版日期：2024-05-13
求助人
雷文博 在 2025-01-07 10:01:34 发布自江苏，悬赏 30 积分
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