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 Scheduling Cluster Tools with Multi-Space Process Modules and a Multi-Finger-Arm Robot in Wafer Fabrication Subject to Wafer Residency Time Constraints 晶圆制造中具有多空间工艺模块和多指臂机器人的集群工具调度
相关领域
晶圆制造
薄脆饼
计算机科学
过程（计算）
制造工程
材料科学
工程类
纳米技术
操作系统
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期刊：Applied Sciences 作者：Gu Lei; Naiqi Wu; Yan Qiao; Siwei Zhang; Tan Li 出版日期：2024-10-17 |
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