Photochemical Decomposition Mechanisms for AZ-Type Photoresists

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标题	Photochemical Decomposition Mechanisms for AZ-Type Photoresists AZ型光刻胶的光化学分解机理相关领域烯酮分解光化学热分解化学紫外线抵抗化学分解材料科学有机化学光电子学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1147/rd.231.0042
DOI	10.1147/rd.231.0042 doi
其它	期刊：IBM Journal of Research and Development 作者：J. Pacansky; J. R. Lyerla 出版日期：1979-01-01
求助人	虚心盼夏在 2025-02-12 18:54:17 发布自上海，悬赏 10 积分
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