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Uniformity study in large-area showerhead reactors
大面积喷淋反应器的均匀性研究
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网址
https://doi.org/10.1116/1.1868613
DOI
10.1116/1.1868613 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：R. Sobbia; L. Sansonnens; Jens Bondkowski
出版日期：2005-06-27
求助人
梁昕 在 2025-01-08 17:24:32 发布自湖北，悬赏 10 积分
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