标题 |
Wet etching in β-Ga2O3 bulk single crystals
β-Ga2O3块体单晶的湿法刻蚀
相关领域
薄脆饼
蚀刻(微加工)
材料科学
干法蚀刻
半导体
各向同性腐蚀
反应离子刻蚀
光电子学
纳米技术
图层(电子)
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