Microwave Plasma Sources ‐Applications in Industry

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标题	Microwave Plasma Sources ‐Applications in Industry 微波等离子体源。工业应用相关领域微波食品加热等离子体离子源腔磁控管材料科学激发态蚀刻（微加工）工程物理等离子体刻蚀光电子学电气工程纳米技术计算机科学薄膜原子物理学电信物理工程类溅射核物理学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1002/ctpp.201210059
DOI	10.1002/ctpp.201210059 doi
其它	期刊：Contributions To Plasma Physics 作者：M. Kaiser; K.‐M. Baumgärtner; Alexander Mattheus 出版日期：2012-08-01
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