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 The PSR effect of matching network in 8/100 MHz geometrically symmetrical capacitively coupled Ar plasma 8/100MHz几何对称电容耦合Ar等离子体中匹配网络的PSR效应
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期刊：Physics of Plasmas 作者：Zhaohui Liu; Qianghua Yuan; Guiqin Yin 出版日期：2022-10-01 |
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