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 Demonstration of Bixbyite-Structured δ-Ga2O3 Thin Films Using β-Fe2O3 Buffer Layers by Mist Chemical Vapor Deposition 使用β-Fe2O3缓冲层的Bixbyite结构δ-Ga2O3薄膜的雾化学气相沉积演示
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期刊：ACS applied electronic materials 作者：Takahiro Kato; Hiroyuki Nishinaka; Kazuki Shimazoe; Kazutaka Kanegae; Masahiro Yoshimoto 出版日期：2023-03-08 |
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