Hydrogen desorption and diffusion in PECVD silicon nitride. Application to passivation of CMOS active pixel sensors - 科研通

发布文献求助

已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！

求助中

文献求助详情

标题	Hydrogen desorption and diffusion in PECVD silicon nitride. Application to passivation of CMOS active pixel sensors PECVD氮化硅中氢的解吸和扩散。在CMOS有源像素传感器钝化中的应用相关领域钝化等离子体增强化学气相沉积材料科学氮化硅微电子硅光电子学氢扩散 CMOS芯片堆栈（抽象数据类型）电子工程纳米技术图层（电子）化学计算机科学物理有机化学程序设计语言工程类热力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2007.04.071
DOI	10.1016/j.mee.2007.04.071 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Daniel Benoit; J.L. Regolini; P. Morin 出版日期：2007-05-31
求助人	Zex 在 2024-12-17 18:12:45 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
6小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

18:12:50 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

18:12:45 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

18:12:45 已向机器人发送请求
6小时前

Zex 求助人 Lv3 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: shuhaha完成签到，获得积分10

2秒前; YifanWang上传了应助文件

3秒前; 草莓啵啵兔完成签到，获得积分10

3秒前; 笙璃完成签到，获得积分10

4秒前; 科目三上传了应助文件

5秒前; 嗯哼上传了应助文件

6秒前; VDC上传了应助文件

7秒前; mengliu完成签到，获得积分10

8秒前; 传奇3的应助被斯文问旋采纳，获得10

9秒前; 干净菠萝发布了新的文献求助10

11秒前; 大渣饼完成签到，获得积分10

13秒前; 锋芒不毕露完成签到，获得积分10

15秒前; lot完成签到，获得积分10

15秒前; FashionBoy上传了应助文件

16秒前; orixero的应助被忧虑的羊采纳，获得10

16秒前; 精明的迎松上传了应助文件

16秒前; 脑洞疼上传了应助文件

18秒前; lot发布了新的文献求助10

19秒前; ying818k完成签到，获得积分10

20秒前; 打打的应助被hyian采纳，获得10

20秒前; tuanheqi上传了应助文件

20秒前; 隐形曼青上传了应助文件

21秒前; YifanWang上传了应助文件

21秒前; aya关注了科研通微信公众号

22秒前; wtg发布了新的文献求助10

22秒前; 轻松真完成签到，获得积分20

24秒前; 领导范儿的应助被大魔王波波采纳，获得10

25秒前; 小黎快看发布了新的文献求助10

25秒前; 杳鸢上传了应助文件

25秒前; orixero上传了应助文件

26秒前; 赘婿的应助被lot采纳，获得10

27秒前; 汉堡包上传了应助文件

29秒前; 精明的迎松的应助被xwc采纳，获得10

29秒前; VDC上传了应助文件

29秒前; 忧虑的羊发布了新的文献求助10

30秒前; 英俊的铭的应助被YBOH采纳，获得10

30秒前; 知性的雪糕发布了新的文献求助30

32秒前; Hayat发布了新的文献求助10

32秒前; 小孟吖完成签到，获得积分10

33秒前; 赘婿上传了应助文件

34秒前

高分求助中: 歯科矯正学第7版（或第5版） 1004; Smart but Scattered: The Revolutionary Executive Skills Approach to Helping Kids Reach Their Potential (第二版) 1000; Semiconductor Process Reliability in Practice 720; PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 700; Mesopotamian divination texts : conversing with the gods : sources from the first millennium BCE 500; Days of Transition. The Parsi Death Rituals(2011) 500; The Heath Anthology of American Literature: Early Nineteenth Century 1800 - 1865 Vol. B 500

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 3223759; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2872209; 关于积分的说明 8179298; 捐赠科研通 2539083; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1371146; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 646021; 邀请新用户注册赠送积分活动 620010

今日热心研友

精明的迎松

万能图书馆

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通