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Refractive index properties of SiN thin films and fabrication of SiN optical waveguide
SiN薄膜的折射率特性及SiN光波导的制备
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期刊:Journal of Electroceramics 作者:D. S. Kim; Seokyoung Yoon; G.E. Jang; Su‐Jeong Suh; Hyonchol Kim; et al 出版日期:2006-12-01 |
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