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A Multiscale Simulation on Aluminum Ion Implantation-Induced Defects in 4H-SiC MOSFETs
4H-SiC MOSFET中铝离子注入缺陷的多尺度模拟
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期刊:Electronics 作者:Sheng Wang; H. Lan; Qiwei Shangguan; Yawei Lv; Changzhong Jiang 出版日期:2024-07-13 |
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