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标题
Vertically grown metal nanosheets integrated with atomic-layer-deposited dielectrics for transistors with subnanometre capacitance-equivalent thicknesses
用于亚纳米电容等效厚度晶体管的与原子层沉积电介质集成的垂直生长金属纳米片
相关领域
电容 材料科学 原子层沉积 电介质 图层（电子） 光电子学 金属 晶体管 高-κ电介质 纳米技术 电气工程 化学 冶金 电极 电压 工程类 物理化学
网址
https://doi.org/10.1038/s41928-024-01202-3
DOI
10.1038/s41928-024-01202-3 doi
其它 期刊：Nature electronics
作者：NULL AUTHOR_ID; NULL AUTHOR_ID; Wei Ai; NULL AUTHOR_ID; Zunxian Lv; et al
出版日期：2024-07-08
求助人
lfchen 在 2024-07-15 21:09:37 发布自北京，悬赏 10 积分
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