Study of RLS trade-off mitigation utilizing an organotin-containing chemically amplified resist for high sensitivity patterning

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标题	Study of RLS trade-off mitigation utilizing an organotin-containing chemically amplified resist for high sensitivity patterning 利用含有机锡化学放大抗蚀剂进行高灵敏度构图的RLS权衡研究相关领域抵抗平版印刷术材料科学催化作用光刻极紫外光刻硫聚合物化学化学工程纳米技术盐（化学）光电子学有机化学图层（电子）复合材料工程类
网址	https://doi.org/10.1117/12.2641179
DOI	10.1117/12.2641179 doi
其它	期刊：作者：Satoshi Enomoto; Kohei Machida; Michiya Naito; Takahiro Kozawa 出版日期：2022-12-01
求助人	lll6xz 在 2024-06-02 21:54:01 发布自江苏，悬赏 20 积分
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