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 GAN-OPC: Mask Optimization With Lithography-Guided Generative Adversarial Nets GAN-OPC：光刻引导生成对抗网络的掩模优化
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期刊：IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems 作者：Haoyu Yang; Shuhe Li; Zihao Deng; Yuzhe Ma; Bei Yu; et al 出版日期：2020-10-01 |
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