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 Chip-scale gyroscope using silicon-nitride waveguide resonator with a Q factor of 100 million Q因子为1亿的氮化硅波导谐振器芯片级陀螺
相关领域
陀螺仪
光纤陀螺
谐振器
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期刊：Optical and Quantum Sensing and Precision Metrology II 作者：Matthew J. Grant; Pierre-Baptiste Vigneron; Avi Feshali; Warren Jin; Nathan Abrams; et al 出版日期：2022-03-04 |
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