Recent progress and perspectives on atomic‐layer‐deposited semiconducting oxides for transistor applications - 科研通

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标题	Recent progress and perspectives on atomic‐layer‐deposited semiconducting oxides for transistor applications 用于晶体管的原子层沉积半导体氧化物的最新进展与展望相关领域原子层沉积氧化物材料科学背板氧化物薄膜晶体管晶体管异质结薄膜晶体管制作电介质光电子学有机发光二极管图层（电子）二极管数码产品纳米技术计算机科学电气工程电压工程类计算机硬件病理医学冶金替代医学
网址	https://doi.org/10.1002/jsid.1096
DOI	10.1002/jsid.1096 doi
其它	期刊：Journal of The Society for Information Display 作者：Min Hoe Cho; Cheol Hee Choi; Jae Kyeong Jeong 出版日期：2022-01-11
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