Investigation of Low Temperature, Atomic-Layer-Deposited Oxides on 4H-SiC and their Effect on the SiC/SiO2 Interface - 科研通

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标题	Investigation of Low Temperature, Atomic-Layer-Deposited Oxides on 4H-SiC and their Effect on the SiC/SiO2 Interface 4H-SiC上低温原子层沉积氧化物及其对SiC/SiO2界面影响的研究相关领域图层（电子）材料科学接口（物质）碳化硅原子层沉积冶金复合材料润湿坐滴法
网址	https://repository.lib.ncsu.edu/handle/1840.16/8264 AI链接 ncsu.edu
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：作者：Sarah K. Haney 出版日期：2012-10-18
求助人	ZYH 在 2024-11-05 15:19:45 发布自湖北，悬赏 10 积分
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