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Investigation of Low Temperature, Atomic-Layer-Deposited Oxides on 4H-SiC and their Effect on the SiC/SiO2 Interface

图层（电子） 材料科学 接口（物质） 碳化硅 原子层沉积 冶金 复合材料 润湿 坐滴法
作者
Sarah K. Haney
链接
ncsu.edu
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