标题 |
书籍(章节) Wet and Dry Etching of Compound Semiconductors
化合物半导体的湿法和干法蚀刻
相关领域
干法蚀刻
材料科学
半导体
化合物半导体
蚀刻(微加工)
光电子学
纳米技术
外延
图层(电子)
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其它 |
期刊:Elsevier eBooks 作者:S. J. Pearton 出版日期:1995-01-01 |
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