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 Estimation of mechanical stability of EUV pellicle by the collision of the particle defect 用粒子缺陷碰撞估算EUV薄膜的机械稳定性
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期刊： 作者：Ji-Won Kang; Wonyoung Choi; Heechang Ko; Janggun Park; Minwoo Kim; et al 出版日期：2022-09-23 |
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