Chemical vapor deposition of silicon from silane: Review of growth mechanisms and modeling/scaleup of fluidized bed reactors

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标题	Chemical vapor deposition of silicon from silane: Review of growth mechanisms and modeling/scaleup of fluidized bed reactors 硅烷化学气相沉积硅：流化床反应器的生长机制和建模/放大研究综述相关领域三氯氢硅硅烷流化床工艺工程原材料硅废物管理热解材料科学化学工程环境科学纳米技术化学工程类有机化学冶金
网址	https://doi.org/10.1016/j.solmat.2012.08.014
DOI	10.1016/j.solmat.2012.08.014 doi
其它	期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Werner Filtvedt; A. Holt; P. A. Ramachandran; Morten C. Melaaen 出版日期：2012-09-24
求助人	的说海底捞在 2024-10-16 13:23:13 发布自河南，悬赏 10 积分
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