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Enhanced sensing performance from trapezoidal metallic gratings fabricated by laser interference lithography
激光干涉光刻梯形金属光栅增强传感性能
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通过激光干涉光刻技术制造的梯形金属光栅增强了传感性能 光学快报 第47卷, 问题 4, 页码: 1009-1012 (2022) •https://doi.org/10.1364/OL.450151 作者:Yuwei Chai、Fangfang Li、Junyi Wang、Petri Karvinen、Markku Kuittinen 和 Guoguo Kang |
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