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 Vacuum system for applying reflective coatings on large-size optical components using the method of magnetron sputtering 利用磁控溅射方法在大尺寸光学元件上施加反射涂层的真空系统
相关领域
材料科学
涂层
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光学涂层
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生物
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期刊：SPIE Proceedings 作者：Alexander A. Azerbaev; Magomed A. Abdulkadyrov; Sergey P. Belousov; Aleksandr N. Ignatov; Timur R. Mukhammedzyanov 出版日期：2016-10-28 |
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