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Characterization of Doped Oxide Films PSG/BPSG/FSG via DSIMS in Order to Eliminate Nonzero Kilometer Failures from Semiconductors Used in Automotive Industry : Topic/category: Yield Enhancment/Advanced Metrology
通过DSIMS表征掺杂氧化膜PSG/BPSG/FSG,以消除汽车工业中使用的半导体的非零公里故障:主题/类别:成品率提高/高级计量
相关领域
掺杂剂
材料科学
兴奋剂
掺杂剂活化
电介质
光电子学
纳米技术
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DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Thanas Budri; J. Klatt 出版日期:2020-08-01 |
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