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 Monitoring PMMA Elimination by Reactive Ion Etching from a Lamellar PS-b-PMMA Thin Film by ex Situ TEM Methods 用非原位TEM方法监测反应离子蚀刻从层状PS-b-PMMA薄膜中去除PMMA
相关领域
材料科学
反应离子刻蚀
薄膜
层状结构
甲基丙烯酸甲酯
共聚物
基质（水族馆）
蚀刻（微加工）
聚甲基丙烯酸甲酯
聚苯乙烯
化学工程
平版印刷术
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期刊：Macromolecules 作者：Richard A. Farrell; Nikolay Petkov; Matthew T. Shaw; Vladimir Djara; Justin D. Holmes; et al 出版日期：2010-10-04 |
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