RF micro-electro-mechanical system (MEMS) capacitive switch performance parameters and improvement strategies

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标题	RF micro-electro-mechanical system (MEMS) capacitive switch performance parameters and improvement strategies 射频微机电系统（MEMS）电容开关性能参数及改进策略相关领域材料科学电容电容感应微电子机械系统电介质粘着光电子学电容器电压电气工程电极工程类物理化学化学
网址	https://doi.org/10.1007/s00542-022-05324-6
DOI	10.1007/s00542-022-05324-6 doi
其它	期刊：Microsystem Technologies 作者：Kurmendra; Rajesh Kumar 出版日期：2022-06-25
求助人	谨慎傲柏在 2024-10-08 17:09:58 发布自北京，悬赏 10 积分
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