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 Multi-Cycle High Temperature Rapid Thermal Annealing for Dislocation Elimination in 4H-SiC Epitaxy 4H-SiC外延中位错消除的多循环高温快速热退火
相关领域
退火（玻璃）
材料科学
大气温度范围
外延
基面
光电子学
位错
超压
复合材料
结晶学
化学
热力学
物理
图层（电子）
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