Metrology-class EUV light source based on broadband emission from copper-target laser produced plasma

已完结

文献求助详情

标题	Metrology-class EUV light source based on broadband emission from copper-target laser produced plasma 基于铜靶激光等离子体宽带发射的计量级EUV光源相关领域极紫外光刻宽带等离子体激光器铜计量学极端紫外线光源光学材料科学光电子学物理冶金量子力学
网址	https://doi.org/10.1364/euvxray.2024.etu6a.2
DOI	10.1364/euvxray.2024.etu6a.2 doi
其它	期刊：作者：Seth L. Cousin; Feng Dong; Matt Hettermann; Dave Houser; Patrick Naulleau 出版日期：2024-01-01
求助人	daoketuo 在 2024-11-09 17:14:33 发布自甘肃，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 英姑上传了应助文件

3秒前; 陈陈发布了新的文献求助10

3秒前; 小二郎上传了应助文件

3秒前; 浅尝离白的应助被zzz采纳，获得30

4秒前; zorro3574发布了新的文献求助10

7秒前; SuLi_ALL发布了新的文献求助10

7秒前; 天天快乐的应助被wx采纳，获得10

8秒前; 金玉完成签到，获得积分10

9秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

9秒前; Enchanted完成签到，获得积分10

9秒前; 上官若男的应助被zz采纳，获得10

10秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

11秒前; 呼呼呼完成签到，获得积分10

11秒前; 陈陈完成签到，获得积分10

12秒前; 言余上传了应助文件

14秒前; 天天快乐上传了应助文件

16秒前; 科研通AI2S的应助被梵高采纳，获得10

16秒前; 小马甲上传了应助文件

16秒前; 迷路初兰发布了新的文献求助10

17秒前; 付怀松发布了新的文献求助60

17秒前; Hello上传了应助文件

18秒前; 大个的应助被wyq采纳，获得10

18秒前; wx发布了新的文献求助10

20秒前; Jimmy完成签到，获得积分10

21秒前; 思源的应助被逸风采纳，获得10

21秒前; 瘦瘦的赛凤发布了新的文献求助10

22秒前; 酷波er上传了应助文件

22秒前; 酷炫醉山发布了新的文献求助10

22秒前; 小张完成签到，获得积分10

24秒前; ZZQ完成签到，获得积分10

24秒前; 大个上传了应助文件

26秒前; ZZQ发布了新的文献求助10

27秒前; 田様的应助被苯二氮卓采纳，获得10

28秒前; wyq发布了新的文献求助10

31秒前; cfsyyfujia完成签到，获得积分10

32秒前; xixihaha完成签到，获得积分10

34秒前; miamia77完成签到，获得积分10

34秒前; 搜集达人的应助被小李采纳，获得10

35秒前; zxj完成签到，获得积分10

36秒前; 思源上传了应助文件

38秒前