Predicting Temperature-Dependent Aging Effects and Permanent Set of Vacuum Sealing Systems in Semiconductor Manufacturing Processes

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标题	Predicting Temperature-Dependent Aging Effects and Permanent Set of Vacuum Sealing Systems in Semiconductor Manufacturing Processes 预测半导体制造过程中的温度相关老化效应和真空密封系统的永久组相关领域半导体器件制造半导体材料科学真空包装半导体材料工程物理工程类光电子学机械工程薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2024.3392712
DOI	10.1109/tsm.2024.3392712 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Christoph Wehmann; Ambarish Kulkarni; Feyzan Durn; Murat Gülçür; Alan Astbury 出版日期：2024-04-23
求助人	浅斟低唱在 2025-04-04 17:47:28 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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