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  Experimental Study of the Influence of CH4 and H2 on the Conformation, Chemical Composition, and Luminescence of Silicon Quantum Dots Inlaid in Silicon Carbide Thin Films Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition CH4和H2对嵌在远程等离子体增强化学气相沉积碳化硅薄膜中的硅量子点构象、化学成分和发光影响的实验研究
相关领域
发光
碳化硅
硅
量子点
材料科学
纳米技术
光电子学
化学工程
结晶学
化学
冶金
工程类
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| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：ACS Omega 作者：Rodrigo León-Guillén; A.L. Muñoz-Rosas; Jesús Arenas‐Alatorre; J. C. Alonso; Ana Laura Pérez-Martínez; et al 出版日期：2022-06-01 |
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