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 Removing plasma-induced sidewall damage in GaN-based light-emitting diodes by annealing and wet chemical treatments 用退火和湿化学处理消除GaN基发光二极管等离子体引起的侧壁损伤
相关领域
钝化
材料科学
发光二极管
退火（玻璃）
光电子学
等离子体
二极管
热的
复合材料
图层（电子）
物理
量子力学
气象学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Yang Yu; X. A. Cao 出版日期：2009-10-22 |
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