| 标题 |
 Evaluation of Piezoelectric Properties of AlN Using MEMS Resonators 用MEMS谐振器评价AlN的压电性能
相关领域
谐振器
微电子机械系统
材料科学
薄脆饼
压电
制作
谐振器耦合系数
压电系数
薄膜
光电子学
电子工程
复合材料
纳米技术
工程类
医学
替代医学
病理
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Advanced materials research 作者：Lynn Khine; Catherine Wong; Jeffrey Bo Woon Soon; Ming Lin Julius Tsai 出版日期：2011-05-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
薰硝壤
随机子
hl
pcr163
寻道图强
良辰
Andrew02
嗯哼
8R60d8
Leonardi
shinysparrow
iNk
Singularity
misha991
嘉心糖
彭于彦祖
芝士球球
面向杂志编论文
tuanheqi
Grayball
皖公网安备34019202002308
