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Design of Core-Shell Structured Diamond/Ceo2 Composite Abrasives for Ultra-Smooth and Efficient Polishing on Sapphire Wafers
用于蓝宝石晶片超光滑高效抛光的核壳结构金刚石/Ceo2复合磨料的设计
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期刊:SSRN Electronic Journal 作者:Guangen Zhao; Yongchao Xu; Qian-Ting Wang; Youji Zhan; Bingsan Chen 出版日期:2022-08-21 |
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